
SL870026 主打高精度低流量监测,量程 0-10L/min,精度达 ±0.2% FS,适用于医疗设备(如呼吸机气体流量控制)、电子芯片制造(如晶圆清洗时惰性气体流量监测)的惰性气体监测场景。安装采用微型螺纹接口(M12×1.25,精度 6H),需搭配精密流量调节阀(如针型阀),安装位置需远离振动源(如水泵、风机,振动频率≤50Hz,振幅≤0.1mm),避免振动导致内部热式传感元件与支架共振,影响热平衡检测,进而产生 ±0.5% 的精度偏差。供电支持 5-24V DC 宽电压输入(可适配电池供电或设备自带电源),信号输出为 4-20mA,可直接接入精密数据采集仪(如 Agilent 34970A),接线时需使用屏蔽线(屏蔽层接地),减少电磁干扰对低流量信号的影响。
操作核心是零点漂移修正:开机后需预热 30 分钟(让传感元件温度稳定,避免环境温度变化导致漂移),在管道无气流状态下(关闭阀门后用流量计确认流量为 0),长按传感器侧面 “Cal" 键进入校准模式(指示灯闪烁),通过 “+"“-" 键将零点信号调至 4mA 标准值(可通过数据采集仪实时监测输出电流),调整后短按 “Save" 键保存。运行中需严格保持气体清洁度,要求气体含尘量≤0.1mg/m³(可在传感器前端加装精密过滤器,过滤精度 0.1μm),否则粉尘易附着在热丝表面,形成隔热层,导致检测值比实际值偏高 5% 以上。故障处理方面,若出现信号波动(如电流在 4.2-4.5mA 间跳动,对应流量 0.5-0.75L/min),先使用万用表测量电源电压(波动需≤±0.5V,排除电源不稳定问题),再用无尘棉签蘸无水乙醇清洁传感头;若输出信号恒为 20mA(对应 10L/min),可能为量程过载(需检查阀门是否开度过大,或管道是否存在压力骤升),降低流量至量程内即可恢复。该传感器体积小巧(直径 25mm,长度 80mm),可集成到小型设备内部,防护等级 IP64(可防飞溅液体,禁止浸泡),适合实验室洁净环境(洁净度 Class 1000)使用,支持每年一次原厂校准服务,校准后可确保精度维持在 ±0.2% FS,满足高精度场景需求。