日本 HORIBA 堀场 6151-100B 耐氢氟*一体式 pH 复合电极技术介绍

一、耐 HF 电极和常规玻璃 pH 电极的差异

常规 pH 电极依靠玻璃敏感膜感知氢离子，氢氟*会直接腐蚀二氧化硅材质的玻璃，短时间内溶解玻璃膜，造成电极损毁，因此普通玻璃电极不能用于含 HF 样品测试。6151-100B 专为氢氟*体系开发，抛弃传统玻璃敏感膜，采用耐受的特殊固态传感膜结构，搭配稳定参比系统，能够在含有氢氟*的酸洗溶液中采集 pH 信号，是湿法酸洗、半导体晶圆酸洗工艺专用检测电极，一体式封装结构，安装便捷。

二、传感结构与信号输出特点

这款电极集成 pH 感应单元、参比通道，一体式封装，配套在线监测或者实验室含 HF 样品检测。它的电位响应逻辑和玻璃电极一致，但传感材料化学惰性更强，抵抗 HF 侵蚀。需要明确，耐 HF 只是相对概念，并非无限耐受。HF 浓度越高、温度越高，电极老化速度越快。参比液络部同样做抗腐蚀优化，减少氟离子沉淀堵塞液络通道，降低电位漂移、信号不稳的概率，保障连续检测工况下的数据重复性。

三、典型应用工况说明

6151-100B 主要用于半导体酸洗工序、含氢氟*化工湿法处理、矿石浸出液、酸洗废液监测场景。在半导体晶圆清洗制程中，混酸清洗液含有 HF，需要实时监控 pH，控制蚀刻速率，该电极是行业内成熟的配套选型。对比同类耐 HF 电极，堀场这款电极信号漂移控制优秀，适合长时间在线监测。测试体系以酸性环境为主，高浓度强碱体系同样会加速传感膜老化，选型时不能只关注 HF 耐受，同时评估体系 pH 区间、共存离子、温度条件。

四、使用限制、清洗与寿命管理

使用过程中，控制样品温度，高温 HF 会大幅加速电极损耗，缩短使用寿命。测试完成之后，及时用纯水充分冲洗电极表面，带走残留 HF，避免氟盐结晶堵塞液络部。结晶堵塞之后会出现电位漂移、响应滞后，严重时直接失效。电极不使用时浸泡在指定保存溶液，禁止长时间浸泡在 HF 溶液内。定期标定核查响应性能，和玻璃电极不同，耐 HF 固态电极校准周期需要根据 HF 浓度适当缩短。同时要区分使用边界：高浓度 HF、长时间连续浸泡工况，即便耐 HF 电极，依然属于消耗品，需要建立备件轮换计划。规范操作、及时清洗，减少氟化物残留附着，是维持检测稳定、延长电极寿命的核心手段。