高真空精准测量 日本 ANELVA 佳能 M-361CP-SP N25 真空计半导体真空检测表

一、复合规宽量程测量方案

M-361CP-SP N25 是佳能 ANELVA 经典二合一复合真空规，将皮拉尼规与冷阴极电离规集成在单一体内，一支真空传感器完成从大气压、中真空到高真空区间的压力检测，不需要搭配两支不同量程真空规，节省真空腔体安装接口，降低真空系统泄漏风险。皮拉尼段在大气压附近响应快、稳定性好，冷阴极段负责高真空区间精准测量，内部自动完成量程切换，切换逻辑优化，减少切换点跳变、误报停机问题，真空压力读数连续平滑，方便操作人员判断腔体抽真空进程。

二、硬件接口与联锁控制功能

型号后缀 N25 代表标准 NW25 真空法兰，适配主流真空管路标准，安装拆装便捷，密封可靠。仪表内置两路继电器输出触点，可以设置高低真空压力阈值，实现真空联锁保护：真空度不达标时切断工艺气源、触发报警、停止溅射镀膜等工艺，避免真空异常造成工件报废。信号输出支持标准工业信号，可接入真空控制器、PLC，和整套真空工艺系统联动，广泛用于对真空条件要求严苛的半导体工艺。

三、稳定性与维护优势

ANELVA 这款真空规在半导体行业使用多年，抗工艺气体污染能力强，针对镀膜、刻蚀工艺常见气体环境做优化，耐受少量工艺副产物，相比普通真空规不容易快速污染失效。冷阴极结构无热丝，不会出现热丝烧断故障，相比热阴极电离规使用寿命更长，减少停机更换频次。规头拆卸简单，污染后可单独清洁电极组件，无需整体更换，降低 MRO 备件使用成本。规头自带状态自检功能，可识别异常放电、污染故障，方便提前预判维护节点。

四、安装调试操作说明

设备安装前，检查法兰密封面无划痕、杂质，搭配适配的铜垫片或者氟橡胶密封件，均匀锁紧卡箍，保证密封性能。安装位置尽量避开气流直冲、油雾直吹的区域，减缓规头污染速度。上电之后，可配套真空控制器完成零点校准、量程确认，设置对应的联锁阈值。日常巡检重点查看规头放电状态，定期拆检清洁电极，清洁完成后重新做真空比对校准，保证测量精度持续达标，满足工艺管控要求。