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更新时间:2025-11-18
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洁净室检测:按 GB 50591-2010 标准布置采样点(每 20㎡设 1 个点,避开送风口 1.5 米以上),采样头垂直向上,每点连续检测 3 次,取平均值作为最终数据;
设备内部检测:使用万向采样头深入狭窄空间(如芯片封装机内部),采样时保持采样管无弯折,避免流量损失;
移动巡检:开启 “手持便携模式",每 30 秒记录 1 组数据,生成实时浓度曲线,快速定位洁净度异常区域。
格式适配:支持 Excel/CSV 格式,数据字段包含 “检测时间、粒径、浓度、流量、温湿度",可直接对接企业 ERP 系统;
可视化分析:软件自动生成浓度趋势图、各采样点对比热力图,若某点 0.5μm 浓度超过 352000pc/m³(Class 7 洁净室上限),系统自动标红预警;
合规存储:按 ISO 14644-1 要求,数据需留存至少 1 年,软件支持按 “日期 / 场景 / 操作人员" 分类归档,便于审计追溯。
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