SMC日本气动真空阀铝制轻量化

产品简介
SMC日本气动真空阀铝制轻量化
其 “铝制轻量化" 优势场景价值：阀体采用高品质铝合金材质打造，经精密加工与硬质阳极氧化处理，在保证结构强度的同时大幅降低重量，相比同规格铸铁阀门减重约 40%，不仅便于真空系统的管路布局与设备集成，还能减少安装工位的承重负荷，尤其适配需要频繁调整或移动的真空设备（如半导体晶圆传输机构、小型真空镀膜机），降低设备运行时的振动干扰，间接提升真空系统的稳定性。

产品型号：XLD-40K-M9

更新时间：2025-10-23

厂商性质：经销商

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品牌	SMC/日本	应用领域	环保,化工,能源,钢铁/金属,综合

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SMC 日本气动真空阀 XLD-40K-M9 是一款聚焦 “铝制轻量化" 与 “精密真空控制" 的专业阀门，专为半导体制造、真空镀膜、光伏设备等高精度真空系统设计，凭借轻量化结构性能，成为工业真空场景中高效控流的核心元件。

其 “铝制轻量化" 优势场景价值：阀体采用高品质铝合金材质打造，经精密加工与硬质阳极氧化处理，在保证结构强度的同时大幅降低重量，相比同规格铸铁阀门减重约 40%，不仅便于真空系统的管路布局与设备集成，还能减少安装工位的承重负荷，尤其适配需要频繁调整或移动的真空设备（如半导体晶圆传输机构、小型真空镀膜机），降低设备运行时的振动干扰，间接提升真空系统的稳定性。

在核心真空控制性能上，该阀门表现突出：采用波纹管密封结构，配合高精度加工工艺，泄漏量低至 1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s，可有效维持系统高真空度，避免外部气体渗入影响工艺效果；支持二段流量控制与初始排气可调功能，能根据真空系统的不同工况（如初始抽真空、稳定保压、工艺排气）精准调节流量，既防止泵体过载，又提升排气效率，45L/s 的大导纳设计进一步保障中高流量场景下的控流响应速度。

适配性与细节设计同样贴合工业需求：采用气动驱动方式，先导压适配 0.4-0.7MPa 工业常用气压，可快速实现阀门常闭 / 开启状态切换，且支持与自动化控制系统联动，满足生产线无人化操作需求；提供 KF 法兰连接方式，安装便捷且密封可靠，适配多数真空管路规格；耐温范围覆盖 5-60℃，能适应真空系统烘烤工艺等温度波动场景，同时具备氟气耐受特性，可应对部分腐蚀性气体环境。

此外，该阀门在安全性与耐用性上优势显著：无重金属污染设计符合半导体、光伏等行业对洁净度的严苛要求，避免污染物影响产品质量；均匀烘烤温度设计减少阀体因温度不均产生的形变，延长密封部件寿命。无论是半导体晶圆防污染加工、真空镀膜设备的精准控压，还是光伏真空系统的高效排气，这款铝制轻量化气动真空阀都能以稳定性能与便捷适配性，助力真空系统实现高效、可靠运行。

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