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产品简介
日本NFK南国工业真空柔性软管NK-2300KF,KF 快拆法兰连接,SUS316L 一体波纹成型,内壁电解抛光,极低放气,出厂氦检,用于半导体镀膜、质谱仪、真空炉、分子泵管路柔性连接,吸收设备震动,隔离振动传递,保障高真空系统不漏气。
产品分类
| 品牌 | NFK/南国工业 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,航空航天,半导体,机械设备 | 型号 | NK-2300KF |
| 接口形式 | KF 快拆法兰 | 管体材质 | SUS316L |
| 法兰材质 | SUS304 | 适用漏率 | ≤1.33×10?11Pa?m3/s |
NFK 南国工业 NK-2300KF 是 KF 法兰款高真空柔性波纹管,日本原厂一体无缝波纹成型工艺,没有焊缝泄漏风险,管体 SUS316L 不锈钢,内壁电解抛光 Ra≤0.2μm,放气率极低,全部产品出厂氦检漏,漏率达标,作为高真空管路柔性连接件,吸收真空泵、腔体之间的震动,避免刚性管路震动传递,防止真空法兰松动漏气,广泛配套半导体 PVD/CVD 镀膜、科研真空设备、真空炉、扫描电镜、质谱仪器。
一、一体无缝波纹结构,无焊接焊缝,规避焊缝微漏风险,高真空工况稳定性远优于焊接波纹管。二、超低放气内壁抛光,内壁电解抛光处理,气体析出量极低,不会污染真空腔体,适合超高真空、洁净制程。三、KF 快拆法兰结构,标准 KF 法兰,KF10/KF16/KF25/KF40/KF50 规格可选,拆装快速,配合卡箍、密封圈密封,装配便捷。四、减震缓冲效果好,柔性波纹可以吸收设备运行震动,隔离泵体震动传递到腔体,保护精密真空腔体、光学窗口。
NK-2300KF 用于半导体镀膜设备真空泵与腔体连接、实验室真空实验装置、真空热处理炉、分子泵、干泵进出口管路。安装时只允许吸收轴向位移、轻微径向偏移,不能承受扭转,扭转会造成波纹管开裂泄漏。法兰密封面保护好,避免划痕,划痕会直接造成真空泄漏。软管长度支持 100mm~3000mm 定制,根据设备安装距离定制长度,不要强行拉伸、压缩软管。定期复查真空漏率,长期使用后密封圈老化及时更换。
NK-2300 系列分为 NK-2300KF(KF 法兰)、NK-2300PT(管端直插)两种款式,KF 法兰适合经常拆装的真空系统。配套 KF 卡箍、中心支架、氟橡胶密封圈,NFK 南国工业同时还有耐高温真空软管、大口径真空波纹管,满足不同真空设备、温度工况选型。
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