SIMCO思美高高效能的离子棒 5635 (M)

产品简介
SIMCO思美高高效能的离子棒 5635 (M)
MCO 思美高高效能离子棒 5635（M）是一款专为半导体等超洁净制造工艺设计的静电消除设备。它采用调制脉冲（MP）技术，能在快速消除静电的同时，满足低摆动电压和精确平衡的要求，且无金属外露，可避免金属污染。相关介绍如下：

工作原理：利用 MP 技术，将高频正弦波与调制脉冲相结合，以实现高离子输出和输送，可产生大量正负离子，中和物体表面静电。

产品型号：5635 (M) 型

更新时间：2025-07-01

厂商性质：经销商

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

品牌	SIMCO/思美高	应用领域	环保,能源,电子/电池,电气,综合

SIMCO思美高高效能的离子棒 5635 (M)

SIMCO思美高高效能的离子棒 5635 (M)

MCO 思美高高效能离子棒 5635（M）是一款专为半导体等超洁净制造工艺设计的静电消除设备。它采用调制脉冲（MP）技术，能在快速消除静电的同时，满足低摆动电压和精确平衡的要求，且无金属外露，可避免金属污染。相关介绍如下：

工作原理：利用 MP 技术，将高频正弦波与调制脉冲相结合，以实现高离子输出和输送，可产生大量正负离子，中和物体表面静电。

性能参数：输入电压：24VDC±10%。

输出电压：13.5kVp-p（最大），可调。

工作距离：距表面 150-1000mm，具体取决于应用和客户规格。

频率：默认设置为 5Hz，可在 1-33Hz 范围内调整。

离子平衡：自动平衡系统，在棒的长度范围内及一段时间内＜±20V（在受控环境中 24 英寸距离处测量）。

电离清洁度：符合 ISO 14644-12 清洁度（0.01µm 颗粒或纳米颗粒）和 ISO 14644 1 级（0.1µm 颗粒）。

气流：最大气体压力 45psi；通过 8mm 外径的一触式接头，每个喷嘴为 1-3.5lpm（可选）。

产品特点：洁净度高：采用超清洁单晶硅发射点，配合精确调整，可提供高洁净度，满足半导体等高精度工艺要求。

均匀性好：具有出色的横向均匀性，可在整个离子棒长度上提供均匀的离子平衡。

安装灵活：可安装在距离晶圆 150mm 以内，能在靠近目标物体的位置工作，且可通过 DIP 开关设置电源级别，快速激活出厂设置，便于安装和调试。

可空气辅助：可选配空气辅助功能，加速离子输送，在更远距离上实现更快的放电时间和更好的性能。

具备报警功能：有报警输出信号，可与工具或设施监控系统通信，及时反馈设备运行状态。

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